MOCVD鎢及錸發(fā)熱體

我們始終堅(jiān)持以自產(chǎn)的鎢、鉬、鉭、鈮等難熔金屬材料作為品質(zhì)基礎(chǔ)，擁有各類線切割、磨床、銑床、加工中心等全套完整的高精度材料機(jī)械加工裝備。能夠按客戶的要求設(shè)計(jì)、生產(chǎn)加工高精度高品質(zhì)產(chǎn)品。

產(chǎn)品用途：

用作半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備的部件。

Application:

They are used as a component of semiconductor MOCVD system.

產(chǎn)品加工精度參數(shù)/Product Processing Accuracy Parameters：

主要材質(zhì)Main Materials	加工范圍Processing Range	尺寸精度Dimensional Accuracy (mm)	形狀精度Shape Accuracy (mm)	位置精度Position Accuracy (mm)	光潔度Finish (Ra, μm)
W、RE	0.00-5.00	±0.003	0.01	0.005	0.2-0.4
W、RE	5.01-15.00	±0.005	0.015	0.006	0.4
W、RE	15.01-30	±0.008	0.02	0.007	0.4
W、RE	30.01-100	±0.010	0.025	0.008	0.6
W、RE	>100	±0.0127	0.030	0.010	0.6

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